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紫外可见分光光度计 SolidSpec-3700

来源:未知 责任编辑:admin  时间:2015-04-22 人气:

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  • 商品介绍
    紫外可见分光光度计 SolidSpec-3700  

    适用于光学、半导体及FPD应用—岛津UV-VIS-NIR分光光度计

     

    是一款顶级的高灵敏度分光光度计,可进行深紫外区检测,具备大样品室,可满足光学、半导体及FPD在以下方面的检测需求。

    FPD:
    材料评估中NIR和大样品的高灵敏度测定。

    半导体:
    短波长激光和12英寸晶片整体表面的深紫外区测定。

    光通信: 
    减反射膜NIR高灵敏度测定。

    光学
    从DUV到NIR再到大样品的高灵敏度分析。

    SolidSpec-3700/3700DUV特点

    高灵敏度
    SolidSpec-3700和3700DUV是第一台使用3个检测器的分光光度计:光电倍增管(PMT)探测器检测紫外区和可见光区,近红外区使用InGaAs 和 PbS检测器。InGaAs 和 PbS检测器的使用使得近红外区域的灵敏度显著增强。

     

    光学组件需要对透光率及反射率进行高精度测定。SolidSpec-3700/37000DUV拥有三个检测器,覆盖的范围从紫外区到近红外区。通过使用InGaAs和冷却型PbS检测器提高近红外区的灵敏度。从而得到从紫外区到近红外区高精度和高灵敏度光谱。

    传统的分光光度计使用一个光电倍增管对紫外和可见区域进行检测。但所有检测器在检测器转换范围内灵敏度较低,因此在此范围检测时无法实现高灵敏度测定。 SolidSpec-3700/3700DUV通过使用InGaAs检测器可在转换领域内进行高灵敏度检测。

    高灵敏度检测

     

    InGaAs检测器和PbS 检测器测定锐截止滤光片透过率的谱图如下图所示:SolidSpec-3700/3700DUV从850至1600nm范围内实现了低噪音水平,与传统的分光光度计相比,1300至1600nm范围内,噪声减少了四分之一。

    SolidSpec-3700/3700DUV在1300-1500nm,在透过率小于1%的前提下,噪声水平小于0.1%。此波长范围的高灵敏度分析使SolidSpec-3700/3700DUV成为检测低反射样品的强有力工具,如在光传输中使用的防反射涂层及薄膜。

    1500nm处的噪声为世界最优水平,小于0.00005Abs(狭缝宽度8nm,RMS),删除使用直接受光单元DDU/DDU-DUV.小于0.00003Abs(狭缝宽度2nm,RMS)


     


     

    深紫外区检测
    SolidSpec-3700DUV具有检测深紫外区的能力,可测定至165nm或175nm的积分球。此检测是用氮气吹扫光室和样品室进行的。注: 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光单元DDU-DUV测定)的最短波长。

     

    随着以ArF激发激光为代表的使用深紫外激光的高精度激光仪器的发展,提高了对光学材料深紫外区透过率和反射率的测定要求。

    SolidSpec-3700DUV使用积分球时可在175nm-2600nm的范围测定,而使用选配件直接受光单元DDU-DUV时可在165nm-3300nm的范围测定。

    使用此附件,可实现从深紫外区到近红外区宽范围的测定。

    空气中的氧分子会吸收190nm以下的深紫外光,需要使用氮气吹扫光室和样品室以除去氧分子的干扰。SolidSpec-3700DUV各单元都设有吹扫入口,可进行充分的氮气吹扫,以实现深紫外区的高灵敏度和低杂散光。

    为进行深紫外区的测定,检测器的窗口和积分球内壁均使用不吸收深紫外光的材料,SolidSpec-3700DUV的PMT检测器使用特制熔融石英作为窗口材料,积分球内壁使用深紫外区具有高反射性能的特殊树脂。

    深紫外区高灵敏度和低杂散光测定

     

    深紫外区的高精度测定要求充足光通量和低杂散光。
    右图是使用直接受光单元DDU-DUV(选配)测定石英板的透过率光谱。
    在紫外区域可得到超低噪声的光谱。

     


     

    大样品室
    大样品室(900W x 700D x 350H mm) 可在不损伤大样品的前提下进行检测。其垂直光路可直接测量大样品同时保持它们的水平状态。使用自动X-Y样品台(选配)测定样品的尺寸是12英寸或310×310mm。

    SolidSpec-3700/3700DUV配有大样品室,可使大样品进行无损检测。其内部尺寸为900W x 700D x 350H。
    可测定的最大样品尺寸700W x 560D x 40H mm。样品尺寸为12英寸或310 x 310 mm的样品可用自动X-Y样品台(选配)
    使用X-Y样品台的大样品室

     

    使用X-Y样品台测定12英寸硅片

    自动检测

    为SolidSpec-3700/3700DUV研发的自动X-Y样品台可对提前指定点进行自动检测,同时又可进行氮气吹扫。

     

    12英寸硅片上SiO2薄膜的反射光谱

    12英寸硅片上薄膜的厚度测定
     


     

    Optional Accessories选配组件

    Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光单元DDU/DDU-DUV对于液、固样品透过率测定
    自动X-Y样品台(自动测量)
    大型镜面反射附件
    氮气流量装置
    绝对镜面反射附件(5°12°30°45°)
    积分球删除样品盘

    一体软件

    SolidSpec-3700/3700DUV的UVProbe软件包括光谱模块,光度模块,动力学及报告模块等功能。多重的安全性及可追踪性以确保删除数据的可靠性。

     
     
     
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