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日本理音RION KS-41B液体粒子传感器 英文资料

来源:未知 责任编辑:admin  时间:2015-06-01 人气:

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    日本理音RION KS-41B液体粒子传感器 英文资料

     

    Measures 0.1µm Particles in Photoresist, SOG and other solutions
    0.07µm as Option(For measuring clear solutions such as UPW)
    < Specification >
    Optical system Light-scattering method
    Light source Diode pumped solid state laser (wavelength 532 nm, rated output 500 mW)
    Materials of parts exposed to sample Synthetic quartz, PFA
    Size range 1 to 10 channels (Setting range 0.1µm to 0.5µm)
    Sample flow rate 5 mL/min
    Counting efficiency 50±10 %
    Maximum particle number concentration 48 000 particles/mL (at 10 % coincidence loss for 0.1µm particles)
    Power DC12 V (supplied by KE-40B1)
    Dimensions and weight 164 (H) x 464 (W) x 320 (D) mm (excluding protruding parts), Approx. 12.5 kg

     

     
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